LF400系列采用温度变化对应于质量流量的原理,可以对不同的气体进行流量测量及控制,可应用在5SCCM到30SLM的气体流量范围,并且不会受到温度及压力变化的影响。
产品系列完整,可选择数字式,模拟式,普通,精度高,高压力型,性能且价格具有竞争力,应用领域广泛。
功能 | 流量计/控制器 | |
基本型号 | LF400-S | |
满量程流量范围(N2) | SCCM | 0~5,10,20,30,50,100,200,500 |
SLM | 0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30 | |
精度(%F.S) | ±1(≤15SLM) | |
±2(>15SLM.) | ||
控制阀动作型式 | 常闭式 | |
线性(%F.S.) | ±0.5~1(≤15SLM) | |
±2%(>15SLM.) | ||
重复精度(%F.S.) | ±0.2 | |
响应时间(sec) | ≤1 | |
流量输出信号 | 0-+5.00V | |
流量设定信号 | 0-+5.00V | |
电器接头 | DB15 pin(接头) | |
工作环境温度 | (℃) | 5~45 |
工作压差 | (MPa) | 0.1~0.5 |
漏率 | SCCSHe | 1×10-9 |
最大耐压 | 3MPa | |
介质接触材质 | 304,316,316L | |
密封材料 | 氟橡胶,硅橡胶,丁腈橡胶,聚四氟乙烯 | |
接头 | VCR " 1/4、1/2 | |
Swagelok1/8”、1/4” 、3/8” 、1/2”或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm | ||
接头和尺寸 | Φ6mm,1/4"Swagelok:127×28×100mm | |
1/4"VCR:127×28×100mm | ||
电源要求 | +15V,50mA;-15V,200mA | |
重量 | 0.75KG |
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输出电源 | +15V±5% 500mA -15V±5% 500mA |
基准源 | +5.00V±0.1% 5mA |
供电电源 | 8VDC-24VDC,50Hz±5% |
输入输出信号 | 电压信号0-5V,电流信号4-20mA |
外形尺寸 | 96×96×125mm |
显示器 | 128×64点阵式液晶,高亮度宽温(-20~70℃)液晶屏,画面清晰LED背光 |
最大功耗 | 8w |
控制通道 | 单路控制显示 |
基本误差 | ±0.2%FS |
环境温度 | 0-50℃ |
环境湿度 | 0-85%RH |
防护等级 | IP40 |